范畴已推出包含iTomic系列原子层堆积系统、iTomic MW系列批量式原子层堆积系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层堆积系统、iTronix系列化学气相堆积系统等系列新产品，现有产品能够对逻辑芯片、

　　浅显来讲，原子级制作就是在原子标准上去来加工，构成具有原子级特定结构特征的器材产品。从实现形式上，能够是以原子级精度进行“去除”加工，也能够是以原子级精度进行“增材”制作。

　　而正是具有原子级制作才能的企业，自2015年建立至今，构成了以原子层堆积（ALD）技能为中心，化学气相堆积（CVD）等多种真空薄膜技能梯次开展的技能渠道系统，专心于先进微米级、纳米级薄膜堆积设备的研制、出产与出售。

　　据微导纳米相关担任的人介绍，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k（高介电常数）原子层堆积（ALD）设备使用于集成电路制作前道出产线的国产设备厂商，并已取得客户重复订单认可。

　　上述担任人告知《证券日报》记者，和光伏范畴之外，公司还从始至终坚持履行ALD+CVD等镀膜渠道化战略，继续在新式范畴进行前沿化开发，为公司未来开展发明更多收入增长极。现在，公司已在新式范畴取得打破并逐渐闪现效果，在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜堆积技能使用前沿范畴开端取得客户订单。